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    showa6430微调机

    寫作時間:2006-12-20文章來源: 八戒体育 文章作者:本站編輯
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    昭和微調機SFE6230,SFE6430,7051报警提示:達到 L 段设置的值(20K)或更低。 检查项目 再生操作。 检查 N2 的排气阀和冷凝泵的安全阀时候没有泄露。 检查确认没有灰尘在抽气阀里(主抽阀,辅抽阀,N2,导入阀等等。 ) 检查确认冷凝泵的温度计电源打开,连接处完好。 012 CP Regeneration is not finished 原因 N2 输入操作两次但是冷凝泵再生的压力检查没有完成。 检查项目 检查 N2 的供给压力(0.03Pa) 。 检查 N2 的排气阀和冷凝泵的安全阀时候没有泄露。 检查确认没有灰尘在抽气阀里(主抽阀,辅抽阀,N2,导入阀等等。 ) 检查确认冷凝泵的皮拉尼真空计电源打开,连接处完好。 013 CP REGENE Error:CP Pumping is unfinished 原因 再生操作的时。

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